股票代碼:603396

                          產品特點

                          1.程序控制精確,設備運行穩定

                          2.自動更換石英舟,提高產能,降低勞動強度

                          3.機臺防腐設計,提高使用壽命和可靠性

                          4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

                          5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

                          6.采用特制陶瓷吸盤取放片

                          7.可選方阻檢測

                          8.可選MES和遠程診斷

                           

                          技術參數

                          擴散上下料機

                          JC.GF004

                          產能

                          10000pcs/h5000 load,5000 unload

                          石英舟規格

                          200/400/600/800/1000 ,Pitch 4.76mm/2.38mm                        

                          硅片尺寸

                          156mm*156mm

                          上料方式

                          50/100 Cassette

                          下料方式

                          50/100 Cassette

                          碎片率

                          0.5%

                          設備尺寸(長×寬×高)              

                          L3700*W2700mm*H2100mm

                          開機率

                          98%

                          耗電量

                          1Ph ,220VAC,50Hz, 8kW, 36A

                          耗氣量

                          30L/min

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